一般來說X熒光光譜儀運用到的X射線熒光是一個表面分析的方法，它的分析方法是一個相對分析方法，這就要求任何制樣過程和步驟必須有非常好的重復操作可能性。因此測試人員在制樣的時候得嚴格且精細，樣品的分析面相對于整個樣品要有代表性。
1、避免制備樣品時發生誤差和樣品自身引起的誤差：
（1） 樣品的均勻性。
（2） 樣品的表面效應。
（3） 粉末樣品的粒度和處理方法。
（4） 樣品中存在的譜線干擾。
（5） 樣品本身的共存元素影響即基體效應。
（6） 樣品的性質。
（7） 標準樣品的化學值的準確性。
X熒光光譜儀的分析原理圖
2、了解一些引起樣品誤差的原因，做好規避：
（1）樣品物理狀態不同，樣品的顆粒度、密度、光潔度不一樣；樣品的沾污、吸潮，液體樣品的受熱膨脹，揮發、起泡、結晶及沉淀等。
（2）樣品的組分分布不均勻 樣品組分的偏析、礦物效應等。
（3）樣品的組成不一致 引起吸收、增強效應的差異造成的誤差
（4）被測元素化學結合態的改變 樣品氧化，引起元素百分組成的改變；輕元素化學價態不同時，譜峰發生位移或峰形發生變化引起的誤差。
（5）制樣操作 在制樣過程中的稱量造成的誤差，稀釋比不一致，樣品熔融不完全，樣品粉碎混合不均勻，用于合成校準或基準試劑的純度不夠等。
此外，樣品的平均粒度和粒度分布；樣品中是否存在不均勻的多孔狀態等都需要測試人員的注意，可以說，在樣品制備過程有很多步驟，X熒光光譜儀樣品制得好，分析數據事半功倍！