X熒光光譜儀的主要部件光源、激發單色器、樣品池、熒光單色器及探測器等。眾所周知探測器是很重要的零件，它是用于接受和分辨信號。我們在選用探測器時，因為探測器性不同，所以需要綜合考慮多種因素。
目前X熒光光譜儀常用的X射線探測器有三種：流氣式正比計數器、NaI閃爍計數器、Si(Li)探測器。就三者而言，產生一個離子對的平均能量，他們之間大約相差一個量級，而分辨率與統一個光子產生的電子數的平方根成正比，所以他們的分辨率也粗略相差三倍。
下面一起來和小編比較下三種X射線探測器吧！
1、流氣式正比計數器適用波長范圍0.15～5.0/nm，平均能量/離子對26.4eV，電子數305/光子，分辨率1.2/keV。
2、NaI閃爍計數器適用波長范圍0.02~0.2/nm，平均能量/離子對350eV，電子數23/光子，分辨率3.0/keV。
3、Si(Li)探測器適用波長范圍0.05～0.8/nm，平均能量/離子對3.6cV，電子數2116/光子，分辨率0.16/keV。
盡管X熒光光譜儀由于使用分光晶體而達到約12eV的分辨率，但新的能量探測器已經可達到4eV，在分辨率方面已取得優勢。
事實上如果新型能量探測器在計數率和制造工藝的穩定性方面能取得突破，則X熒光光譜儀有可能在未來逐步取代復雜的波長色散X熒光光譜設備，成為X熒光光譜分析領域的主流。
X熒光光譜儀的構造